WHAT IS THIN FILM?
KIST Definition (1991)
- Thin Film : 기판층(substrate layer)에 형성된 수 m 이하의 두께를
갖는 것으로 독립적인 기능을 보유한 막.
ADVANTAGES OF THIN FILM
Complexibility and Accumulations
Easy processing
lm)
Easy Control of Thermal, Mechanical and Chemical Properties
Down the Cost of Production
High-Reliance
WHAT IS cvd?
Principle of cvd
서론
1. PDP TV란
- PDP TV(Plasma Display panel TV)는 기존 브라운관 TV와 달리 얇은 유리 기판을 스크린으로 한 TV를 말한다. PDP TV는 Plasma 원리를 이용한 것으로 기판 사이에 혼합 가스를 넣고 높은 전압을 가해 이온가스를 생기게 한 뒤 이를 방전하여 컬러 영상을 만들도록 한다. 이것은 기존 TV에 비해 두께와
막 산화물 등
변수 : 온도, 압력, 건식과 습식, silicon의 결정방위, 도핑 준위
Model : Deal & Grove의 선형-포물선 모델<300 Å - 20,000 Å> 의 성장
150Å까지는 선형적인 산화층의 성장
X = (B/A)t
X : 성장 산화물의 Thickness
B/A : 선형 비례 상수
T : 성장시간
150Å이후는 포물선식 산화층의 성장
X = (B
두께를 측정할 수 있다. 고분자막의 두께의 측정은 보통의 시료측정과 같은 방법으로 적당한 파수 영역을 기록하며 일반적으로 작용기의 흡수 띠가 별로 나타나지 않는 2900~1800cm-1영역의 스펙트럼을 사용한다. 간섭에 의해 각 파장에 따라 투과율의 강약이 생기고 그림1과 같은 주기적인 파형의 곡선