Ⅰ. 서론
세계화에 따른 경쟁격화와 정보통신기술의 광범위한 분야로의 확산, 적용으로 그 동안 주로 연구개발(R&D)투자에 기반을 두고 이루어져 오던 기술혁신이 기존의 기업 또는 국가내의 R&D뿐만 아니라 제품디자인, 소비자 정보를 포함한 시장분석, 다른 기업 또는 외국의 R&D 결과인 외국특허, 라
B. Solution-Liquid-Solid Growth of Indium Phosphide Fibers from Organometallic Precursors: Elucidation of Molecular and Nonmolecular Components of the Pathway
Solution-phase organometallic syntheses of semiconductors are used for the growth of high-quality quantum dots,1-3 and are potentially useful for the deposition of semiconductor materials on thermally sensitive substrates such as polymers
Wetting(습윤) : 기체/고체의 계면이 액체/고체의 계면으로 대체되는 것
σs : 기체/고체의 표면(계면)장력
σi : 액체/고체의 계면장력
A : 습윤장력(wetting tension)
A>0 이면 σs>σi 가 되고, 큰 계면장력을 가진 고체표면을 액체/고체계면이 덮게 되며 젖음 현상이 넓게 퍼짐
Static Contact An
Solid Source
each cell is loaded with a charge material, usually a pure element like gallium or arsenic, which is solid at room temperature.
The gaseous atomic or molecular beam is generated by heating the charge in the effusion cell in the growth chamber.
The effective beam pressure or flow rate of the gas, called the beam flux, is varied by adjusting the effusion cell temperature.
A
Advantage
① 낮은 성장률을 가지면서 높은 질의 epilayer을 생성
② 다양한 dopant 성분을 흡착이 가능하고, 복잡한 구조를
가진 다양한 layer를 생성
Disadvantage
① 고진공으로 인한 작동비용이 높음
② source material 교체로 인한 chamber 내부의 오염
③ As와 P이 포함되어 있는 alloy의 성장 제한