ThinFilm Deposition) 공정을 통해 제작된다. 박막 증착이란 이름 그대로 표면에 얇은 막을 씌우는 기술을 뜻하는데 이 공정을 통해 기판(substrate)이나 이전에 증착된 층에 재료의 얇은 막을 씌워 올린다. MOS의 경우에는 silicon(반도체) 위에 oxide(산화물, 유전체) 그리고 그 위에 metal을 올리는 것이다. 이러한 공
BulkGibbs free energy of formation of the amorphous oxide islarger than that of the corresponding crystalline oxide.
ThinfilmThe thin amorphous metal-oxide film on its metal substrate can be stable modification with respect to the corresponding crystalline metal-oxide film the same substrate.
1. Interaction contribution to the - interfacial energy
Following the treat
What is TFT?
TFT( ThinFilm Transistor 박막 트랜지스터 )
최신 신재료 TFT를 소개하기전에 기존의 TFT를 간단히 소개하자면
Tin File Transistor 박막트랜지스터라고 합니다. 능동 매트릭스형 액정의 하나로 액정 표시장치 (LCD)의 픽셀을 박막 트랜지스터(TFT)로 제어합니다 기존 브라운관 (CRT)에 비해 화면의 흐트러
2. Experimental
2.1. Film preparation
Pure ZnO thinfilms were prepared on the glass substrate using RF magnetron sputtering system. And Mg, Ga doped (3 wt%) ZnO thinfilms were prepared on the ZnO pre-sputtered glass substrate using RF magnetron sputtering system. The PureZnO target was made from high purity ZnO powder (99.99 %) . The MZO/GZO targets were made from high purity ZnO powder (