2. Pressure
1) 진공압식(MAP 센서 : Mmanifold Absolute Pressure Sensor)
MAP 센서는 흡기다기관의 진공 변동에 따른 흡입 공기량을 간접적으로 검출하여 컴퓨터에 입력하면 엔진의 부하에 따른 연료의분사량 및 점화시기를 조절한다. 3개의 단자와 하우징, 실리콘 칩으로 구성되었으며, 진공실과 흡기다기관 사
Pressure
1) 진공압식(MAP 센서 : Mmanifold Absolute Pressure Sensor)
MAP 센서는 흡기다기관의 진공 변동에 따른 흡입 공기량을 간접적으로 검출하여 컴퓨터에 입력하면 엔진의 부하에 따른 연료의분사량 및 점화시기를 조절한다. 3개의 단자와 하우징, 실리콘 칩으로 구성되었으며, 진공실과 흡기다기관 사이
sensor
The range of resonance frequency= 10~30 MHz
The detection limit = 10^-12 g for analyte molecules( according to Sauerbrey’s equation )
S A W
Surface Acoustic Wave sensor in which the acoustic wave on the surface of the piezoelectric crystal, launched and received on the same surface of the crystal.
The range of resonance frequency= 200~400 MHz
The detection limit of SAW
Sensor)
➪공기청정기 뒤쪽에 설치, 흡입공기의 질량 유량을 측정, 기본 연료 분사시간을 제어하는 센서. 에어크리너를 거쳐 엔진으로 들어오는 공기량을 검출하여 ECU 로 보내주고 ECU는 공기량에 맞게 연료를 분사합니다. 산소센서가 타고 남 은 산소의 농도를 판단하여 연료량
1.MEMS 및 ICS에 사용되는 식각공정을 분류하고 이에 대하여 장단점과 특성을 아는바 대로 기술하시오
MEMS 식각공정은 건식식각공정이 대표적이다.
건식식각기술은 용액 속에서 식각을 하지 않고 기체상태에서 용액 없이 식각을 진행 하는 방법으로 가스 식각, 스퍼터링효과 식각, RIE 식각으로 분류