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대학레포트
[나노] Nano Imprint Lithography(NIL)기술의 최근 동향
Thermal
- 또는 UV-NIL 두 가지로 분류할 수 있다. 2006년 4월 전자공학회지 제33권 제4호, 연세대학교, 강신일 2.
Thermal
-NIL(Nano Imprint Lithography)
Thermal
-NIL 기술은 고온 고압의 환경에서 열에 변형이 되는 폴리머 레진에 나노 크기의 형상이 새겨진 몰드(스탬프)를 눌러서 나노 패터닝하는 기술을 말한다.
2009-08-18 | 2,000원 | 20p |
NIL 기술 나노 프린트 공정 연구 나노임 그림 스탬프
[나노] Nano Imprint Lithography(NIL)기술의 최근 동향
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