Ⅰ. What is MEMS..?
(Micro Electro Mechanical Systems)
1. 정 의.
mems란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되 고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의 되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술사업으로 진행되고 있
sensor
The range of resonance frequency= 10~30 MHz
The detection limit = 10^-12 g for analyte molecules( according to Sauerbrey’s equation )
S A W
Surface Acoustic Wave sensor in which the acoustic wave on the surface of the piezoelectric crystal, launched and received on the same surface of the crystal.
The range of resonance frequency= 200~400 MHz
The detection limit of SAW
Nuclear Magnetic Resonance는 물리나 화학분야에서 분자의 구조를 알아냄으로서 spectroscopic analysys를 하는 방법으로 이용 되어 왔다. 이것이 의학적 진단에 이용될때는 현재 진단된 signal과 그 기원을 알아내기 위하여 sectional image를 재구성하기 위해서는 공간적 정보가 필요하게 된다.
NMR이 개발된 것은 최근
1. Introduction
Cause of Death
암 환자의 병기별 생존율
2. Various Sensors
Nano material
Cantilever
Nanowire
3. Basic Principle
4. Fabrication method
3 Key Points
APTMS is coupled to oxygen plasma-cleaned Si N.W.
Aldehyde groups are coupled to mAbs.
Unreacted free Aldehyde groups are blocked by
reaction with ethanolamine