클린룸 청소절차)를 명시.
항공우주 기술 등 각종 첨단기술이 발달한 미국에서 고품질의 고성능 전투기와 로켓,
컴퓨터, 반도체 등의 제작을 위해 가장 먼저 클린룸이 형성되고 관리기준이 만들어짐.
클린룸은 환경 제어를 위한 고도의 청정 기술과 다양한 제어 기술이 집약된 에너지 다소비 설비
클린룸 : 첨단산업 분야의 연구개발과 생산과정에서 중대한 방해를 초래하는 부유먼지, 유해가스, 미생물 등과 같은 오염물질을 구제하여 기준 이하로 제어하는 청정공간으로 실내의 기류 속도, 압력, 온습도를 요구조건 범위 내로 제어하는 특수건축물이다.
2. 제품 생산과정
<제 1공장>
① N.C.T
반도체 온실가스 배출량 산정 및 보고 가이드 라인(Ver.3)> 방법론을 이용했다. 이 방법론은 ,,<2006 IPCC Guidelines For National Greenhouse Gas Inventories(IPCC)>를 참고하여 개발하였다.
⑤하이닉스 온실가스 배출량 산정 Tool
하이닉스는 온실가스 배출량을 산정하기 위하여
반도체 제조공정에서 나오는 환경유해물질의 사용량 감소를 위한 근본적인 대책마련 및 사후처리와 폐기물에 대한 철저한 관리 및 환경 친화적인 기술개발이 매우 중요하다고 할 수 있다.
국내의 반도체 생산기술은 선진기술과 우위를 다투고 있는 반면 반도체 산업의 근본이 되는 소재, 시약, 가스