CNT를 주목하게 되었다. 이 결과나노혼 구조의 경우, 백금계 촉매를 매우 미세하게(직경 2nm) 담지시켜, 결과적으로 연료전지의 출력을 20% 정도 향상시킬 수 있음을 밝혀냈다. 종래 활성탄으로 동일 조건에서 실험을 행한다면 [그림 37]에 나타낸 것과 같이 촉매입자의 크기가 2배이상이다. 이것은 촉
은등을 이용한 G-선(436nm 파장) 자외선의 축소투영 노광장치(projection stepper)의 도입으로 시작되어 1 마이크론 해상도 수준을 돌파하고, I-선(365nm 파장) 노광기술로 0.5w 이하 해상도에 이르렀다. 계속적으로300nm 이하 단파장의원자외선(deep UV) 노광기술로 발달하여 0.210 이하의 고해상도 기술이 달성되었다.
은 연구들이 수행되고 있다. 대표적인 탄소나노튜브 관련 특허출원 분야는 다음과 같다.
- 전기전자
반도체, 디스플레이, 전기통신, 전자회로, 전기소자, 제어, 검사장치, 정보저장 등
- 화학
탄소나노튜브 제조 및 개질, 복합재료 등
- 기계
다공성 구조, 공작기계, 나노기술, 마이크로 구조기
이용될 수 있다. 그 중에서 IT 및 전자산업에서 가장 중요한 요소인 유기박막트랜지스터는 앞으로 우리가 주목해야 될 소자이다. 유기박막트랜지스터에 대한 연구는 1980년 이후부터 시작되었으며, 근래에는 많은 연구가 진행되어 실리콘을 이용한 박막트랜지스터(TFT; Thin Film Transistor)에 근접한 결과를