mems란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의 되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술사업으로 진행되고 있는 기술개발 과제명은 초소 형 정밀기계 기술개발이라 부
침전시켜야함을 인지하고 참고논문을 이용하여 STM(Sedimentation Time Modeling)을 유도하였다. 이러한 결과들을 종합하여 CMP 폐수의 유입부터 Microfiltration, Electrocoagulation 및 Sedimentation, 마지막으로 최종 pure water까지 공정을 설계하고 실제 산업에 적용 가능하도록 전반적인 Flow Diagram을 이끌어 낼 수 있었다.
electro- dynamic), 그리고 유압식(electro-hydraulic) 등이 있다. Sine signal 및 stepped sine signal, random signal 등의 진동 환경을 제공할 수 있다. 각 종류에 따른 특성, 장단점은 다음과 같다.
1) The Electromagnetic Vibration Exciter
전자식 가진기는 위의 4가지 가진기 중에서 가장 폭넓은 주파수 대역에 사용이 가능하여 가
1. 시퀀스 제어 소자
(1) 전자 릴레이(ELECTRO MAGNETIC RELAY)
전자 릴레이는 철심 위에 코일을 감아 자속이 통과하는 계철 자기력에 흡인되는 접촉자에 의해 개폐되는 접점을 응용한 것이다.
전자 릴레이와 무접점 릴레이와 비교하면 다음과 같은 장단점이 있다.
1) 전자 릴레이의 장점
① 과부하 내량이 크
펄스가 필요하다. 대역 제한 되려면 펄스 형태가 Gaussian 형태일 때는 ΔvΔt가 0.45, hyperbolic-secant 형태일 때는 0.32가 되어야 한다. 현재 연구되고 있는 광 펄스 소스로 MLFRL (Mode Locked Fiber Ring Laser), SMLL(Se-miconductor Mode Locked Laser), DFB/EAM (DFB/Electro Absorption Modulator), GSLD (Gain Switched Semiconductor LD) 등이 있다.