[재료공학] MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)란

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레포트 > 공학계열
2009.10.15
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[재료공학] MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)란

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소개글

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MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)란
반도체 기술과 MEMS 기술 비교

본문내용

mems란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의 되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술사업으로 진행되고 있는 기술개발 과제명은 초소 형 정밀기계 기술개발이라 부르고 있다.

참고문헌

(알기 쉽고 재미있는) MEMS이야기 /윤준보/KAIST press /2004/
Microsensors, MEMS, and smart devices/Gardner, J. W/J. Wiley/2001/

하고 싶은 말

최신 반도체 공정 기술인 MEMS 공정에 관해
아주아주 간단하게 요점만 정리한 레포트입니다.

#MEMS # Micro Electro Mechanical Systems # 초소형 시스템

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