펌프로는 저진공 펌프인 기계식 Rotary Pump를 사용하고 2차 펌프는 고진공 펌프인 Diffusion Pump를 사용한다. Rotary Pump로 Chamber에 진공을 잡아 준 후 더 낮은 기압을 갖는 진공을 잡아주려고 할 경우 Diffusion Pump를 이용하여 더 낮은 진공을 잡아준다. 증착기에서 사용하는 밸브는 release 밸브를 제외하고는 모두
◎ 펌프의 종류
1. 원심 펌프(Centrifugal Pump)
원심 펌프는 한 개 또는 여러 개의 임펠러를 밀폐된 케이싱 내에서 회전시킴으로써 발생하는 원심력을 이용하여 액체의 펌프 작용, 즉 액체의 수송작용을 하거나 압력을 발생시키는 펌프를 말한다. 이 펌프에서 중심부의 물이 밖으로 나오면 중심부는
펌프, 계통 내의 압력을 안정시키거나 비상시의 동력 공급을 위한 축압기 및 작동유의 청결 정도를 위한 여과기 등으로 구성되어 있다.
그림 1 레저버
가. 레저버(Reservoir)
레저버(Reservoir)는 작동유를 펌프에 공급하고, 계통으로부터 귀환하는 작동유를 저장하는 동시에, 공기 및 각종 불순물을 제
1. 펌프의 원리
가. 흡입 Suction
펌프본체 내부에 기계적인 방법으로 저압부(진공부)를 만들어두면 대기압을 받고 있는 잦은 위치의 유체가 펌프본체 내로 흡입되게 된다. 이는 마치 주사기를 물속에 넣고 주사기의 피스톤을 잡아당기면 그 내부에 저압부가 생겨 물이 주사기 내부로 빨려 올라오는
- 설계목표
감속비를 통하여 효율적이고 내구성이 좋은 기어 설계
- 고려할 사항
입출력 간의 토크와 회전수를 바탕으로 강도설계에 적용.
입력 토크가 일정하지 않기 때문에 최대 토크를 가정.
가능한 한 오랫동안 작동할 수 있게 내구성을 최대한 고려.
- 종류 선정 : 평기어 2개
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