연구소에서는 엑시머레이저를 사용해 유리기판에 다결정 실리콘 박막을 제작하는 기술개발에 박차를 가하고 있다.
따라서 레이저 열처리에 의한 다결정 실리콘에 대해서 자세히 살펴보고자 한다.
. ELA 방법에 의한 다결정 실리콘
그림 2-1은 다양한 레이저 출력으로 제작한 다결정 실리콘
제조공정으로 인하여 유리한 가격 경쟁력을 갖는다.
현재 휴대전화나 카오디오, 디지털카메라와 같은 소형기기의 디스플레이에 주로 사용되고 있다. 2004년 현재 OLED의 기판 재질로는 유리를 사용하고 있으나 필름을 사용할 수 있게 되면 구부려서 들고 다닐 수 있는 디스플레이도 불가능한 일은 아니
1.1 TFT-LCD의 정의 및 특징
TFT(Thin Film Transistor)는 박막트랜지스터는 3개의 단자에 의해 구동되어 지며 전기적인 관점에서 볼 때 전계효과 트랜지스터(FET)의 종류이다. 그리고 금속-산화물-반도체 전계효과 트랜지스터(MOSFET)와 유사한 특성을 갖는다. TFT에 사용되는 재료로는 비정질실리콘, 다결정실리