Ⅰ. 서 론
요즘 현대인들은 웰빙과 힐링의 삶을 추구하고 있어 건강하고 참된 삶을 살기 위하여 고급주택에 공기 좋은 전원생활을 추구하는 경향이 매우 강하다. 파시브하우스(Passive House)는 기후변화와 에너지 고갈이라는 위기에 직면하여 반드시 고려되어야 할 건축개념으로 자리 잡고 있다. 이러한
1. Abstract
CFD란 프로그램을 사용하여 반도체, LCD 공정 등에서 많이 이용되는 Al표면을 Cl기체를 이용하여 Etching하는 공정을 simulation하여 본다. 이 과정을 통하여 엔지니어에게 요구되는 반응기의 컨트롤을 미리 예측할 수 있고, 공정에서의 경제성을 확인할 수 있다. 또한, 최적의 입구 속도, 입구 지름,