![[유체역학] CFD 디자인-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0001.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-2](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0002.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-3](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0003.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-4](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0004.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-5](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0005.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-6](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0006.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-7](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0007.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-8](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0008.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-9](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0009.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-10](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0010.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-11](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0011.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-12](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0012.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-13](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0013.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-14](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0014.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-15](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0015.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-16](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0016.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-17](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0017.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-18](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0018.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-19](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0019.gif)
![[유체역학] CFD 디자인-20](http://images.happyhaksul.com/thumb/216/215462-0020.gif)
분야
hwp2.CFD란 무엇인가
3. Al Etching Simulation
3.1 배경
3.2 Governing equation
3.3 inlet 유체의 속도 변화에 따른 공정 변수 관찰
3.4 알루미늄 온도 변화에 따른 공정 변수 관찰
4. Flow Simulation
4.1 유체의 속도를 변화 시켰을 때의 유체의 속도 비교
4.2 Turbulence Model을 포함하였을 경우
4.3 입구의 지름을 2배로 변화시켰을 때의 유체의 속도와 압력 비교
5. 결론
CFD란 프로그램을 사용하여 반도체, LCD 공정 등에서 많이 이용되는 Al표면을 Cl기체를 이용하여 Etching하는 공정을 simulation하여 본다. 이 과정을 통하여 엔지니어에게 요구되는 반응기의 컨트롤을 미리 예측할 수 있고, 공정에서의 경제성을 확인할 수 있다. 또한, 최적의 입구 속도, 입구 지름, 반응기의 온도 등을 결정 하는데 중요한 참고 자료로 사용 할 수 있다.
또 다른 simulation은 유체가 원형 관을 통과할 때 내부에서 관의 지름이 변하고 그 상황에서 유체의 속도와 압력의 변화를 알아본다. 이 과정 속에서 유체의 Re값을 미리 계산해보고 유체의 흐름을 예측할 수 있다. 이 예측 값과 simulation결과와 비교해 본다.
2.CFD란 무엇인가
▪ CFD 의 정의
CFD란 Computational Fluid Dynamics 의 약자로서 전산유동해석을 의미한다. 즉, CFD란 유체 유동현상의 원리를 표현하는 수학적 지배방정식인 비정상 3차원 비선형 편미분 방정식인 Navier-Stoke 방정식을 컴퓨터를 이용하여 풂으로써 유체 유동현상을 예측하는 방법이다.
유체가 이동하면서 부수적으로 일어나는 현상에는 mass transfer (eg perspiration, dissolution), phase change (eg melting, freezing, boiling), chemical reaction (eg combustion, rusting), mechanical movement (eg of pistons, fans, rudders) 이 있다.
