문제가 되는 반대쪽 전극의 손상이나 파티클 발생 등의 문제 해결 가능
1015 ions/cm2 이 300~ 700 eV 의 energy 로 표면과 충돌할 때 substrate 표면파괴 및 화학적인 오염이 심각함
residual film 형성
gas phase particle deposition
metallic impurities
불순물 제거 방법 : 습식 산화 제거에 의한 산소 또는 수소 plasma 처리
농도 및 온도에 따른 carrier mobility 변화
Doping 농도가 높아지면 impurity scattering의 영향이 커져 mobility는 감소하게 된다.
온도가 높아지면 격자들의 요동이 커지므로 전자 이동에 방해가 되어 mobility가 감소한다. 반대로 온도가 너무 낮아지면 캐리어의 열적 운동도 낮아지므로 mobility가 감소하게 된다.
but we have nevertheless been polluting it for years.
The atmosphere can be divided vertically into four major layers : troposphere, stratosphere, mesosphere, and thermosphere.
Figure 2.1 The earth’s atmosphere is subdivided vertically into four major regions based on the air-temperature profile. The ozone layer that protects us from the sun’s UV radiation is in the stratosphere.
impure) (Q. 9:28), and orders us to fight the unbelievers until no other religion except Islam is left (Q.2:193). It prohibits a Muslim to befriend a non-believer even if that non-believer is the father or the brother of that Muslim (Q. 9:23), (Q. 3:28).
It asks the Muslims to "slay or crucify or cut the hands and feet of the unbelievers, that they be expelled from the land with disgrace and t