![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0001.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-2](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0002.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-3](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0003.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-4](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0004.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-5](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0005.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-6](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0006.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-7](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0007.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-8](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0008.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-9](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0009.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-10](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0010.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-11](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0011.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-12](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0012.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-13](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0013.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-14](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0014.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-15](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0015.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-16](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0016.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-17](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0017.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-18](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0018.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-19](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0019.gif)
![[반도체 공학 설계] LTPS-TFT 소자-20](http://images.happyhaksul.com/thumb/413/412323-0020.gif)
분야
hwp#본론#
1. LTPS란?
2. a-Si, LTPS, HTPS 비교
3. LTPS 장점
4. LTPS 형성방법
5. LTPS 결정화 형성 기술 비교
6. LTPS 공정
7. LTPS 관련기기
8. LTPS 응용분야
#결론#
1. LTPS 주요 issue
2. LTPS 기술전망 및 나아가야 할 방향
LTPS란 저온에서 amorphous phase 없이 실리콘의 grain이 결정화된 것으로서, 고온 결정화 공정 대신 annealing 공정을 사용하여 400℃이하의 저온에서 비정질 실리콘(a-Si)을 결정화 시키는 제조방법이다.
2. a-Si, LTPS, HTPS 비교
a-si TFT
저온 P-Si TFT
고온 P-Si TFT
기판온도
http://www.toppoly.com/toppoly/Technology/LTPS
http://www.samsungsdi.com
http://tftlcd.khu.ac.kr/facilities/LTPS.html
http://www.dig-m.com/digital
http://www.kps.or.kr/~pht
http://blog.naver.com/limnico
http://www.withche.com/main
http://blog.naver.com/ejawa75
http://www.lgphilips-lcd.com/homeContain/jsp/kor/tech
기술정보
Samsung electronics (LTPS TFT LCD / Hyun Jae Kim)
LG electronic - 이형수
TFT-LCD Reaserch Center, KyungHee Univ. - 장 진
