분야
pptx1-2. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 後 Image 비교 사항
1-3. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 방법
1-4. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 준비
1-5. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 준비 時 사전 침적 세정 결과
2-1. Coupler의 NMP Dipping Test 준비 時 사전 침적 세정 결과
2-2. 개별 Coupler의 NMP Dipping Test 前/後 Wiper CLN Image
2-3. Coupler Dipping Test 7일 침적 後 Metal Data 변동 비교 사항
2-4. Coupler의 NMP Dipping Test 방법
2-5. Coupler의 NMP Dipping Test 준비
결론) 1. Particle : Sample#7의 경우가 7일 경과 時 Max인 2,053ea 측정되었으며, Sample#8의 경우 7일 경과 後 1,329ea 측정되어 1일 경과 後 측정한 Sample#2보다 낮은 수준 검출됨
➜ 개별적인 O-Ring의 특성에 따라 Particle의 수준은 달라지며, 7일 침적한 Sample이 1일 침적한 Sample보다 낮은 수준 검출된 것으로 미루어 NMP에 장기 침적 진행하더라도 Particle이 지속 용출되어 수준이 증가한다고 판단되지는 않음
