![[반도체공정]주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467323-0001.gif)
![[반도체공정]주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)-2](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467323-0002.gif)
![[반도체공정]주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)-3](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467323-0003.gif)
![[반도체공정]주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)-4](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467323-0004.gif)
![[반도체공정]주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)-5](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467323-0005.gif)
![[반도체공정]주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)-6](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467323-0006.gif)
![[반도체공정]주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)-7](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467323-0007.gif)
![[반도체공정]주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)-8](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467323-0008.gif)
![[반도체공정]주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)-9](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467323-0009.gif)
![[반도체공정]주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)-10](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467323-0010.gif)
![[반도체공정]주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)-11](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467323-0011.gif)
![[반도체공정]주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)-12](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467323-0012.gif)
![[반도체공정]주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)-13](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467323-0013.gif)
![[반도체공정]주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)-14](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467323-0014.gif)
![[반도체공정]주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)-15](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467323-0015.gif)
![[반도체공정]주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)-16](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467323-0016.gif)
![[반도체공정]주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)-17](http://images.happyhaksul.com/thumb/468/467323-0017.gif)
분야
pptx2.SEM으로 얻을 수 있는 정보
3.SEM의특징
4.SEM과 광학현미경의 비교
5.전자빔과 시료의 상호작용
6.SEM의 분해능
7.SEM의 구성
8.SEM의 구성 - 전자총
9.SEM의 구성 - 렌즈
10.S.EM의 구성 - 조리개
11.SEM의 구성 – 샘플 Stage
Morphology 물체를 구성하는 입자들의 형상과 크기 관찰
Composition 물체를 구성하는 원소와 화합물의 종류 및 상대적인 양을 분석
Crystallography 재료 내 원자들의 배열상태 분석
전자빔을 이용하여 전자가 시편과 충돌할 때 발생하는 이차전자, 반사전자, X-선 등을 검출하여 확대상을 촬영하는 장치
높은 분해능과 고배율 10~100만배
저배율도 관찰가능 10~100배
깊은 피사체 심도 요철이 심한 단면의 관찰이나 표면조도가 큰 시료를 관찰하는데 매우 유리
디지털 영상을 제공 영상의 저장은 물론 영상에 대한 다양한 분석이 가능
다양한 검출기 및 주변기기를 장착하여 응용분야를 확장
현미경의 내부는 진공상태 - 전자는 공기와 충돌하면 에너지가 소실되거나 굴절되는 등 원하는 대로 제어하기 어렵기 때문
배율 - 표본과 대물렌즈와 렌즈 사이의 거리는 일정, 중간렌즈와 투영렌즈의 코일에 통하는 전류의 세기에 의해 배율이 결정되며
초점 - 대물렌즈의 코일에 흐르는 전류에 의해 조절
상의 관찰 - 전자선이 시료의 표면에 충돌하면서 발생하는 이차 전자, 산란전자, 투과전자, X-Ray 등을 측정하여 표면의 형태를 영상으로 나타냄.
