![[재료공학] SEM의 실험 변수에 따른 이미지의 변화 관찰-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/556/555156-0001.gif)
![[재료공학] SEM의 실험 변수에 따른 이미지의 변화 관찰-2](http://images.happyhaksul.com/thumb/556/555156-0002.gif)
![[재료공학] SEM의 실험 변수에 따른 이미지의 변화 관찰-3](http://images.happyhaksul.com/thumb/556/555156-0003.gif)
![[재료공학] SEM의 실험 변수에 따른 이미지의 변화 관찰-4](http://images.happyhaksul.com/thumb/556/555156-0004.gif)
![[재료공학] SEM의 실험 변수에 따른 이미지의 변화 관찰-5](http://images.happyhaksul.com/thumb/556/555156-0005.gif)
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![[재료공학] SEM의 실험 변수에 따른 이미지의 변화 관찰-7](http://images.happyhaksul.com/thumb/556/555156-0007.gif)
![[재료공학] SEM의 실험 변수에 따른 이미지의 변화 관찰-8](http://images.happyhaksul.com/thumb/556/555156-0008.gif)
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![[재료공학] SEM의 실험 변수에 따른 이미지의 변화 관찰-11](http://images.happyhaksul.com/thumb/556/555156-0011.gif)
분야
hwp2. 이론
2.1. Accelerating Voltage
2.2. Probe Current
2.3. Aperture Size
2.4. Working Distance
2.5. Signal (SE / BSE)
3. 실험조건
3.1. Accelerating Voltage
3.2. Probe Current
3.3. Aperture Size
3.4. Working Distance
3.5. Signal (SE / BSE)
4. 결과
4.1. Accelerating Voltage
4.2. Probe Current
4.3. Aperture Size
4.4. Working Distance
4.5. Signal (SE / BSE)
5. 결론 및 고찰
5.1. Accelerating Voltage
5.2. Probe Current
5.3. Aperture Size
5.4. Working Distance
5.5. Signal (SE / BSE)
6. Reference
Aperture size는 Depth of Focus(초점심도)와 연관되어 있으며 size가 작아질수록 Depth of Field가 좋아져 높이가 다른 상들을 선명하게 관찰할 수 있다. Depth of Field는 렌즈나 반사거울 등에서 어떤 점 P0의 상을 P0'에 맺게 할 때 상 쪽 P0'(또는 물체 쪽 P0) 앞뒤의 선명하다고 볼 수 있는 결상(結像)의 범위이다. 사진기에서는 피사계심도와 같은 의미로도 사용되며, 현미경에서는 선명한 상을 찍을 수 있는 거리의 의미로 사용된다.
2.4. Working Distance
대물렌즈와 시료표면 사이의 거리를 작동거리(working distance)라 하는데, 작동거리가 짧을수록 더욱 작은 점을 형성할 수 있으며, 영상의 해상도가 좋아진다.
Depth of field는 working distance에 의해서 영향을 받는다. Working distance가 길어지면 depth of field도 길어진다.
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또한 위 식에서 볼 수 있듯이, NA가 커질수록 △Z는 작아지고(초점심도가 작아진다.), NA가 커질수록 resolution은 작아지는데, resolution이 작아진다는 의미는 분해능이 향상됨을 뜻한다.
2.5. Signal (SE / BSE)
① Secondary Electron(SE)
매우 빠른 속도로 진행하는 전자가 기체 분자나 고체와 부딪힐 때 생기는 전자를 뜻한다. 고속이온이나 X선 등의 입사에 의해 생기는 전자도 Secondary Electron이라 하는 경우가 있다. Secondary Electron은 에너지가 비교적 낮고 표면형상에 대한 상세한 정보를 제공한다. 뿐만 아니라 검출기의 제작비용이 저렴하고 제어하기 쉽기 때문에 SEM의 기본 검출기로 사용되고 있다.
2. “주사전자현미경의 기본원리와 응용” , 코셈
3. 이창우, “항공대학교 신소재공학과 강의노트”
4. 임선종, 이찬홍, “Relation between Focal Length and Probe Current in Electron Optic”, 한국공작기계학회 춘계학술대회, Vol 9, pp. 377-379, 2009
5. 윤존도, “주사전자현미경 분석과 X선 미세분석”, 청문각, 2005
6. 조양구, “전자현미경의 개발과 응용”, 화학세계, 2008.9
7. Web page. "http://search.naver.com/search.naver?where=nexearch&query=depth +of+focus&sm=top_sug.pre&fbm=1"
http://www.mustget.co.kr/request/20111214
