마이크로나노공학LIGA공정과양성PR과 음성PR의화학식,구조식 작동원리
분야
hwp1-1. LIGA 공정이란 ?
1-2.LIGA 공정의 원리와 순서
1-3.LIGA 공정의 응용분야 및 제품특징
2.양성 PR과 음성 PR의 화학식, 구조식 작동원리에 대해 설명하라
2-1.Photolithography란?
2-2.감광제
2-3.PR의 종류
2-4.양성PR과 음성PR의 차이점
1.Photolithography란?
Photolithography 공정은 어떤 특정한 화학약품(Photo resist)이 빛을 받으면 화학반응을 일으켜서 성질이 변화하는 원리를 이용하여, 얻고자 하는 pattern의 mask를 사용하여 빛을 선택적으로 PR에 조사함으로써 mask의 pattern과 동일한 pattern을 형성시키는 공정이다.
Photolithography 공정은 모든 공정 step이 각종 particle에 대해 매우 취약하고, 이로 인한 pattern 불량이 전체 panel의 불량을 유발하므로, 청정한 환경과 재료 및 장비의 관리가 보다 중요한 공정이며, 향후 TFT 제작공정의 고정밀, 대면적화에 따라서 그 중요성이 더욱 커지는 공정이다.
2.감광제
PR의 구성
감응물질, 기본합성수지물질, 유기솔벤트(용제)
빛흡수---> 현상액에녹는물질로변화(양성감광제)
현상액에녹지않는물질로변화(음성감광제)
감응물질------> 감광제를녹게(혹은녹지않게) 한다.
EUVL Projection on Samsung’s Device Roadmap, 2009
EUVL Symposium, J. Yeo (2009).
