면저항은(100) 실리콘 단결정을
기준으로 한 것이다.
LPCVD의 장점
- wafer, wafer-wafer에서 막두께 및 비저항이 균일
- auto-doping이 적다.
- 저온 공정이 가능하다.
- 처리량이 많다.
- wafer를 수직으로 세워 공정하므로 불순물 오염이 적다.
- grain 크기 조절이 용이
- in-situ 도핑이 가능하다.
성장시켜 얻은 단결정 기둥(Ingot)를 적당한 지름으로 얇게 썬 원판모양의 판을 말합니다.
대부분의 웨이퍼는 모래에서 추출한 규소, 즉 실리콘으로 만듭니다. 실리콘은 지구상에 풍부하게 존재하고 있어 안정적으로 얻을 수 있는 재료이고, 독성이 없어 환경적으로도 우수하다는 큰 장점을 가지고 있
성장하는 결정의 직경은 작아지는 반면, 끌어올리는 속도나 온도를 낮추면 직경이 큰 결정을 얻을 수 있다. 일반적으로 성장기와 종자를 지속적으로 회전시키면서 결정을 성장하게 되는데 이는 용융상의 흐름을 조절하여 계면의 온도를 균일하도록 함으로서 불순물의 분포가 균일하고 원형인 결정을
성장
3. 시장점유율
4. 삼성반도체 지속경영
삼성전자는 사람과 자연을 존중하는 기업 활동을 통해 인류의 풍요로운 삶과 지구 환경 보전에 이바지하겠다는 녹색경영 이념을 바탕으로 “Creating New Value through Eco-Innovation(친환경 혁신 활동을 통한 새로운 가치 창출)”이라는 녹색경영 비전을 선