제작에 주로 사용되며, 이외에도 다양한 용도에 응용될 수 있다. 박막 증착시 박막 두께 측정 센서를 통해 박막의 두께를 확인하며 공정을 진행할 수 있다. 2cm*2cm의 조각 웨이퍼에서부터 4" 웨이퍼까지 가능하다.
<그림 3> E-Beam
Electron beam source인 hot filament에 전류를 공급하여 나오는 전자 beam을 전
2016년 12월 12일 주식을 코스닥 시장에 상장하였으며 주요 주주로는 임동준(6.49%), 조병호(6.28%), 임진환(5.4%) 등이 있다.
# 사업의 내용
마이크로프랜드는 반도체 제조공정 중 반도체소자의 전기적 기능의 검사를 위한 테스트 공정에 소요되는 프로브 카드(Probe Card)를 제조, 판매하고 있다.
공정에 반영해 제품 경쟁력을 확보하고 고객 만족도를 높일 수 있도록 노력하였다. LG이노텍은 LED용 에피웨이퍼 개발에서 소자생산(FAB), 패키지, 모듈에 이르는 전 공정의 생산라인을 구축해 각 부문 간에 시너지 효과를 창출하고 있다. 또한 LED관련 특허 등록 및 특허공유(크로스 라이센스)계약을 통해
제작하여 측정해보는 시간을 갖도록 한다.
MEMS 란 Micro-Electro-Mechanical System 의 약어로서 마이크론 단위의 기계적 구조물과 전자회로가 결합된 시스템을 의미한다. 여기서 광과 MEMS기술이 접목되어 MEMS와 광이 결합한 MOEMS란 분야가 수년 전부터 각광받기 시작하였다. MEMS/MOEMS란 수십에서 수백 마이크