MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술 사업으로 진행되고 있는 기술 개발 과제명은 초소형
< Photolithography 공정 기술 >
photolithography에 대해서 알아보기 전에 먼저 전공정과 후공정에 대해서 알아보겠습니다.
전공정은 웨이퍼위에 회로를 만드는 과정이라고 할 수 있고, 후공정은 기판위에 만들어진 회로들을 하나하나씩 자르고 외부와 접속할 선을 연결하고 패키지하는 과정입니다. 자세한
뱀 로봇의 활용 : 지진이나 건물 붕괴 현장을 자유롭게 누빌 수 있는 구조로봇.
처음 만들어진 <뱀 로봇1>은 자유자재로 움직일 수 는 있으나 장애물을 넘지 못하는 한계가 있음. 이 문제를 해결하기 위해 형태는 뱀 로봇에서 멀어 졌지만 지능은 훨씬 좋아진 <뱀 로봇2>를 만듦. 장애물을 넘을 수 있고 눈
3. MEMS 와 Semiconductor
유사성
초기 투자 비용이 많은 장치 산업
유사한 제조 공정을 사용
장시간의 공정 시간 소요
양산 체제 구축 후 단시간에 양질의 제품을 대량생산이 가능
저 비용으로 고성능의 제품 개발
신뢰성 및 재현성이 우수
저 에너지에서의 고속 동작이 가능
군사용에서 상
Bio-MEMS
Bio-MEMS란?
최근 생명분야와 의료 등의 기술들이 멤스 기술과 접목하여, 바이오 물질의 검출 및 진단에 이용하는 생명공학 분야에 활용하기 위해 많이 시도되고 있다.
즉 DNA, 단백질, 세포 등의 바이오 물질을 멤스 기술로 제작된 시스템 위에서 검출, 분석하므로써 극미량의 생체 물질을 이용한 실