소개글
[과학] Micro Electro Mechanical Systems(MEMS)에 대한 자료입니다.
목차
MEMS란 무엇인가 ?
MEMS의 장점
MEMS 와 Semiconductor
MEMS의 종류
MEMS의 제작
MEMS의 미래
본문내용
3. MEMS 와 Semiconductor
유사성
초기 투자 비용이 많은 장치 산업
유사한 제조 공정을 사용
장시간의 공정 시간 소요
양산 체제 구축 후 단시간에 양질의 제품을 대량생산이 가능
저 비용으로 고성능의 제품 개발
신뢰성 및 재현성이 우수
저 에너지에서의 고속 동작이 가능
군사용에서 상용까지 넓은 응용분야
반도체 소자와 MEMS 소자의 유지적 결합이 가능
참고문헌
1. 알기쉽고 재미있는 MEMS 이야기
윤준보 외 지음 / KAISTPRESS(홍릉과학출판사)
2. MEMS & RF/Optical MEMS Market Analysis Report
전략기술경영연구원 편집부 엮음 / 전략기술경영연구원(STEMI)
3. WWW.NAVER.COM
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