현미경(scanning tunneling microscope)이 개발되면서 나노 기술은 더 이상 공상과학에 그치지 않고, 점차 현실로 다가오기 시작했다. 주사터널링현미경을 비롯해 원자힘현미경(Atomic Force Microscopy, AFM), 주사근접장현미경(SNOM)이 개발되면서, 나노구조나 단일분자의 특성을 관찰하고 실현할 수 있게 되어, 나노
Atomic Force Microscopy이다. AFM은 텅스텐으로 만든 탐침 대신에 나노기술로 만들어진 Cantilever라 불리는 작은 막대 탐침을 사용한다. Cantilever는 길이가 수 μm로 아주 작아서 미세한 힘에 의해서도 쉽게 휘어지도록 만들어져 있으며, 이 Cantilever의 끝에는 몇 개의 원자크기에 해당하는 뾰족한 바늘이 붙어있어
투과전자현미경은 주로 시료의 내부구조나 단면을 관찰하는데 쓰이고 있다. 원리는 광학현미경과 비슷하다. 전자현미경에서의 광원은 높은 진공 상태(1x10-4 이상)에서 고속으로 가속되는 전자선으로 이 전자선이 표본을 투과하여 형광판이나 사진필름에 초점을 맞추어 투사된다. 이 전자의 파장은 가
공정이다.
나노 공정기술과 그 외
나노관련 분야와의 연계성
나노 공정기술과 타 산업
간의 융복합 형태
Ⅲ 나노공정 기술은 왜 필요한가? - 그 필요성과 기본원리
(1) 필요성
나노 기술이나 나노과학, 나노공정은 우리의 상대적인 새로운 능력에 의해 가능한 과학과 기술, 하나의 원자
원자외선(deep UV) 노광기술로 발달하여 0.210 이하의 고해상도 기술이 달성되었다. 현재에는 248nm 파장의 KrF 엑사이머 레이저 노광기술로 256메가빗(Mbit) DRAM 반도체의 대량생산이 이루어지고 있으며 1 기가빗(Gb) 메모리 반도체의 생산이 가능하게 되었다. 하지만 반도체 기술 분야에서 소자의 최소 선폭 크