wetgel
입자간 결합, 용액 전반에 삼차원 격자구조 형성
→ 점도 상승, 유동성 잃음
내부에 미반응된 용매로 채워짐
Supercritical Drying의 원리
SCF의 높은 용해력
저점도, 고 확산계수로 인한 빠른 침투성
작은 표면장력 : 작은 모세관력의 작용 (critical point에서 거의 0)
Supercritical fluid를 이용한 건식 세정 기술
기존의 반도체 세정 기술은 습식 세정 기술로서 많은 에너지를 소모하고 공정 후에 폐수를 발생 시키고 오존층 파괴를 유발하는 등의 단점이 있었다. 그런 단점들을 극복하기 위해 초임계유체를 이용하여 건식 세정 기술을 개발하게 되었다.
이산화탄소를 용
<그림3. 임계온도, 압력에 접근함에 따라 이산화탄소의 기-액 계면이 사라진다.>
특성
용매의 물성은 분자의 종류와 분자 간 상호작용에 따라 결정되기 때문에 비압축성인 액체용매는 분자간 거리가 거의 변화하지 않아 단일 용매로서는 커다란 물성의 변화를 기대하기 힘들다. 그러나 초임계유체의
재료의 제조에도 적용 가능하다. 초임계 결정화기술을 이용한 미세입자 제조방법으로는 RESS(Rapid Expansion of Supercritical Solution), SAS(Supercritical Anti Solvent) 등이 있다.
1) RESS(Rapid Expansion of Supercritical Solution)
RESS는 입자로 제조할 물질을 초임계유체에 용해시킨 후 미세한 노즐을 통하여 급속히 팽창시킨
초임계유체의 응용
최근 초임계유체의 장점을 이용한 연구는 급격히 증가하여 경쟁적으로 수행되어 왔으며 기존의 용매의 단점인 낮은 효율, 낮은 품질, 환경에의 악영향 또는 기술적 어려움을 해결할 수 있는 새로운 혁신기술로서 주목받고 있다. 특히 식품공업, 화학공업, 의약품공업, 재료공업,