1. 주사전자현미경(SEM)이란?
전자현미경은 빛의 속도로 이동하는 전자의 파동성을 이용한 전자가속기로서 전자빔과 전자기렌즈를 이용하여 촛점을 형성한다. 가속전압은 대개 60-100 keV이고 illumination source로서는 텅스텐으로 만든 필라멘트를 사용하는데, 이를 전자총 (electron gun)이라고 부른다. 전자총
것을 강조하고 있다(교육부, 1999). .
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Ⅱ. 현미경의 종류
1. 광학 현미경(light microscope)
일반적으로 가장 널리 사용하는 현미경이다.
2. 암시야 현미경(dark field microscope)
습윤 표본으로 암시야 콘덴서를 이용하여 어두운 시야에서 빛나는 물체를 관찰할 때 사용한다.
전자로 투과한 후 형광판에 상을 만드는 것이 TEM(투과전자현미경)이고, 오른쪽 그림과 같이 시료의 겉 표면 또는 부러뜨린 내부구조를 입체적으로 관찰하기 위하여 시료표면에 전자를 주사하여 얻어진 상을 CRT(음극선관)에 영상화 시킨 것이 SEM(주사전자현미경)이다.
2. 전자현미경의 원리
①
투과전자현미경은 주로 시료의 내부구조나 단면을 관찰하는데 쓰이고 있다. 원리는 광학현미경과 비슷하다. 전자현미경에서의 광원은 높은 진공 상태(1x10-4 이상)에서 고속으로 가속되는 전자선으로 이 전자선이 표본을 투과하여 형광판이나 사진필름에 초점을 맞추어 투사된다. 이 전자의 파장은 가
1. Introduction
1.1 TEM이란?
TEM(투과전자현미경)은 평광한 전자선을 사용하여 시료를 투과시킨 전자선을 전자렌즈로 확대하여 관찰하는 전자현미경이다. 직접배율의 범위는 통상 100배에서 100만배 가량으로 관찰하고자 하는 시편의 파장보다 파장이 더 작은 가속전자를 발생시켜 전자 렌즈계를 거쳐