1. 주사전자현미경(SEM)이란?
전자현미경은 빛의 속도로 이동하는 전자의 파동성을 이용한 전자가속기로서 전자빔과 전자기렌즈를 이용하여 촛점을 형성한다. 가속전압은 대개 60-100 keV이고 illumination source로서는 텅스텐으로 만든 필라멘트를 사용하는데, 이를 전자총 (electron gun)이라고 부른다. 전자총
과정생, 연구원들에 대한 교육을 실시한다.
3) 나노기술 개발지원
이 분야는 나노 기술의 보건, 환경적 영향에 대한 이해를 다룬다. 나노 재료와 기술의 환경적 영향을 이해하기 위해 국립나노기술 구상은 미국 환경부와 긴밀한 협조 관계를 유지한다. 특히 NII는 과학적, 상업적 파급 효과가 크고, 연
면적은 매우 작으므로 높은 배율의 영상이 형성되는 것이다.
▶ SEM 특징
① 매우 높은 분해능을 가지고 있어서 고배율로 대상물을 관찰할 수 있다.
② depth of field가 대단히 깊어서 높낮이가 큰 대상물을 관찰할 수 있다.
③ 상대적으로 TEM에 비해 시편을 준비하는 과정이 간편한 편이다.
현미경의 경우에는 0.2 ㎛이다. 즉 광학현미 경으로는 두 점 사이가 0.2㎛보다 가까운 거리는 구별할 수 없다는 이야기가 된다.
광학현미경의 이러한 단점을 극복하기 위해서 전자현미경이 개발된 것이다. 광학현미경의 작동원리나 한계에 대한 물리적 법칙들이 전자현미경에도 그대로 적용된다.
전자를 발생시켜 전자 렌즈계를 거쳐 시편에 투과되는 전자빔의 강도 차를 분석, 형광 스크린 상에 명암이 발생하여 시편의 영상을 얻는 것이다.
전자현미경)>
1.2 TEM 기술의 발전
TEM 기술의 발전은 입자물리와 전자기학의 발전과 궤를 같이 하며 이루어졌다. TEM 기술이 처음 고안된