가스분자의 외곽 전자상태가 변한다. 이에 따라 반응성이 풍부한 화학적 활성종인 라디칼(둘 이상의 원자단으로서 전기를 띤 것 ⇒ 예 ; OH, COOH, CHO 등), 여기분자, 이온(전기를 띤 원자 ⇒ N, O, H, Ca 등) 등은 양 또는 음으로 하전되어 전기적으로 중성상태의 가스가 되는데 이를 저온 플라즈마라 한다. 플
2-2. ICP
1) ICP 정의
아르곤(Ar)을 플라즈마가스로 이용하여 고주파 발생기로부터 발생된 주파수(2.45GHz) 영역에서 유도코일에 의해 발생된 플라즈마 발생소스에는 평판형(planar)(와선형), 나선형(helical)(실린더형)
이 있다.
2) ICP의 원리
Coil에 고주파 가하면 자기장 발생
챔버 주위로 원형의
가스 이온화와 감소 지역, 약간 어두운 지역
5) Positive column
전기장에 의해 전자가 재가속 되며 이온화 및 recombination 이 평형을
이루는 지역 , 관의 길이가 증가하면 positive column 이 지속적인 증가를 함
교류 플라즈마
교류 플라즈마의 필요성
전극에 절연체( SiO2, Al2O3 등) 존
가스 용접, 불활성 가스 아크 용접, 서브머지드 용접, 일렉트로 슬랙 용접 등
② 압접 : 초음파 용접, 고주파 용접, 마찰 용접, 유도가열 용접, 전기저항 용접(점 용접, 심 용접, 프로젝션 용접, 업셋 용접, 플래시 용접, 퍼커션 용접) 등
③ 납땜 : 연납땜, 경납땜
용접의 장 · 단점
① 장점
작업 공
플라즈마
저온플라즈마 기술은 건식공정으로 간단할 뿐만 아니라,
초기 투자비용 저렴, 설치부지 감소,
기존 설비에 적용 용이
생성된 부산물(질소가스)의 농업용 비료로 재이용 등 장점.
저온 플라즈마의 가스온도는 배출가스의 온도이며, 전자의 온도만 높기 때문에 고온을 적용할 수 없는 재료