equation
x,y 방향으로 속도가 존재하므로
Vx = Vx (x,y) Vy = Vy (x,y)
Al이 가열되어 온도구배가 생기므로 Energy 수지식과 반응에 대한 Mass 수지식으로 Governing Equation을 구성
판이 받는 힘을 (ρAv X 0)-ρAv2=Fy
Fy,=-ρAv2 Fx는 대칭이므로 0
∴중앙에서의 압력(P)는 P=ρv2
속도, 압력, 온도 및 증착속도의 변화를 관찰하는 Simulation report 이다.
FlowSimulation
-원형 pipe에서 비압축성 유체의 정상상태(steady-state) flow는 유입되는 유체의 속도에 의해 층류와 난류 모두를 나타낼 수 있다. 따라서 주어진 원형관을 CFD-ACE프로그램을 이용해 구현한 다음 2-1)Flow velocity를 증가시
simulation은 유체가 원형 관을 통과할 때 내부에서 관의 지름이 변하고 그 상황에서 유체의 속도와 압력의 변화를 알아본다. 이 과정 속에서 유체의 Re값을 미리 계산해보고 유체의 흐름을 예측할 수 있다. 이 예측 값과 simulation결과와 비교해 본다.
2.CFD란 무엇인가
▪ CFD 의 정의
CFD란 Computational Flu
속도 감소
2번 공정
- Inlet 속도 증가 : 관내 속도 및 압력이 증가
- Turbulence 적용 : Laminar와 다른 분포를 보임
- 입구 지름 2배 : sudden expansion과 달리 선형적인 증가(속도), 감소(압력)
Summary
- CFD를 사용해보고 시뮬레이션 결과와 이론을 비교해볼 수 있는 프로젝트였다.
- 무조건 시뮬레이션을
CFD는 MEMS의 다양하고 폭 넓은 Physics들을 보다 정확하게 예측하는데 많은 도움이 된다.
2)Semiconductor
반도체 산업분야에서 Multi-Physics의 공정해석을 하기 위한 가장 쉽고 발전된 방법이 CFD이다. Semiconductor Processing에서 CFD를 사용하는 공정은 Spin Coating, Lamp House Heating, CVD, MOCVD, MOVPE, PECVD, RTCVD, Etching, Electr