[3] ThinFilm Deposition
초집적 반도체를 구성하는 소자들은 그 특성상 그 크기가 매우 얇아(작고) 미세한 조직을 가진다. 그리고 이것은 박막 증착(TFD = ThinFilm Deposition) 공정을 통해 제작된다. 박막 증착이란 이름 그대로 표면에 얇은 막을 씌우는 기술을 뜻하는데 이 공정을 통해 기판(substrate)이나 이전에
● 유기 발광 전계효과 트랜지스터(organic light-emitting transistor; OLET)
- OLET는 일반적으로 OTFT의 횡적인 전도 채널 구조를 채용하고, OLED와 동일한 전자와 정공의 재결합에 의한 발광 메커니즘을 기반으로 함으로써, 유기 전자 재료 및 소자의 기초적 연구와 기술적 적용 개발에서 모두 유용하다. 아래의 그
1. 실 험 제 목
OLED(Organic Light emitting diode) & PLED제작
2. 이 론
1. OLED란?
유기 EL은 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하여 스스로 빛을 내는 '자체 발광형 유기물질'을 말한다. 즉, 유기물(단분자/저분자 또는 고분자)박막에 양극과 음극을 통하여 주입된 전자와 정공
film 200nm를 증착하였으며, active layer인 ZnO는 RF magnetron sputter 장치를 표 1과 같은 조건으로 진행되었다.
ZnO layer의 passivation을 위해 PE-CVD 장치를 이용하여 150℃에서 oxide 50nm를 증착하였으며, 이 후 층간 절연을 위해 역시 150℃에서 PE-CVD로 oxide 300nm를 증착하였다. Source/drain pad의 형성은 RF magnetron s