synchrotron)의 궤도(orbit)인 대형 링 속에서 전자를 고속도로 회전시키다가 전기장을 걸어 운동방향을 전환시킴으로써 복사(radiation)시킬 수 있다. 따라서 이렇게 해서 얻은 X선을 싱크로트론복사광(약칭 SOR 또는 SR)이라 한다. 지금까지 SOR를 얻는 데 지름 100m 이상의 대형 링이 사용되고 있지만, 세계 각국
synchrotron)으로 불리는데, 그 궤도(orbit)를 따라 도는 전자에서 방사(radiation)되기 때문에 SOR로 약칭된다.
세계 각국에서 엄청나게 돈이 많이 드는 이 장치의 건설과 기술개발에 힘을 쏟는 이유는 장래에 국방 등에 쓰이는 대규모초집적회로 또는 지능기계의 기초가 되기 때문이다.
<세계 최고속 원자 힘
그러나 테라헤르츠파를 만드는 광원을 개발하기 어려웠기 때문에 1990년대 중반부터 본격적으로 연구가 시작되었다. 테라헤르츠파를 만드는 방법은 자유전자레이저(Free Electron Laser) 또는 싱크로트론복사(synchrotron radiation:방사광가속기)의 전자빔을 이용하는 기술과 극초단 레이저나 비선형물질을 이용
◎ Lithography
1. Lithography란?
① Lithography 란 그리스어에서 파생된 말이다.
즉, 돌(Litho)과 인쇄(Graphy)의 합성어로 석판 인쇄술을 말한다.
백과사전에는 치밀하고 부드러운 다공질인 석회석에 직접 또는 간접으로 그린 것을 판으로 하여 인쇄하는 기법으로 정의되어 있다. 반도체에서 사용되는 Lithography 는