VO₂Property
융 점 : 1545℃
전이온도 : 68℃
전이온도 이하 : Monoclinic
전이온도 이상 : Tetragonal rutile
M I T Theory
MIT - 모트 금속 부도체 전이(Mott metal Insulator Transition)
전자의 운동을 변화 시킴에 따라 갑자기 절연체에서 금속으로 또는 금속에서 절연체로 전이하는 것
Mott insulator
-전도 전
VO2 박막은 MIT 현상을 거쳐서 68 ℃ 근처에서 갑자기 상변이 현상을 일으키는데 이때 전기적 성질과 광학적 성질이 급격히 바뀐다.
상전이가 되면서 68 ℃ 이하에서 부도체와 monoclinic, 그 이상에서 금속의 특성과 tetragonal 구조를 가진다.
XRD분석
W, Sn조성에 따른 XRD pattern.
2θ=41.74˚ 근방에서 강
박막두께 증착가능, 박 막두께조절이 용이하고 진공증착에 비하여보다 정확한 합금 성분 조절이 가능하고 스텝 커버리지, 입자구조, 응력 등의 조절이 가능하다. 단점으로는 장비가 고가이며 낮은 증착율, 또 고진공이 아니라 불순물이 증착된다는 것이 특징이다. 이것의 특징으로는 전자선의 집속에