1) Explain the characterization tools
① 결정구조를 회절법으로 밝히는 방법
- 회절(diffraction)이란?
회절은 대표적인 파동 현상 중 하나이다. 간섭현상으로서의 회절현상으로는 가시광이 회절격자에 의해 반사되는 경우, 엑스선이 고체결정에 의해 반사되는 경우, 파장이 좁은 틈을 지날 때 생기는 1~2차 회
2-2. ICP
1) ICP 정의
아르곤(Ar)을 플라즈마 가스로 이용하여 고주파 발생기로부터 발생된 주파수(2.45GHz) 영역에서 유도코일에 의해 발생된 플라즈마 발생소스에는 평판형(planar)(와선형), 나선형(helical)(실린더형)
이 있다.
2) ICP의 원리
Coil에 고주파 가하면 자기장 발생
챔버 주위로 원형의
1) Cathode dark space, Anode dark space
cathode 및 anode 주변의 어두운 경계지역
2) Cathode layer, Anode layer
이온의 전극에서의 neutralization 으로 photon 방출 지역
3) Negative glow
가스의 ionization 및 excitation 이 가장 많이 밝은 지역
4) Faraday dark space
가스 이온화와 감소 지역, 약간 어두운 지역
5) Positive column
1. 리소그래피(Lithography)의 정의
노광 기술(Lithography 기술)은 마스크(mask)상에 설계된 패턴을 웨이퍼 상에 구현하는 일종의 사진기술로서 마스크 형상을 웨이퍼에 전달하는 매체로 빔, 전자, 이온 등을 사용한다.
기판인 웨이퍼 위에 원하는 패턴을 구현하는 기술
2. 전통적인 리소그래피의 정의
리소