![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0001.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-2](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0002.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-3](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0003.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-4](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0004.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-5](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0005.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-6](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0006.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-7](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0007.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-8](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0008.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-9](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0009.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-10](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0010.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-11](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0011.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-12](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0012.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-13](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0013.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-14](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0014.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-15](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0015.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-16](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0016.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-17](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0017.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-18](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0018.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-19](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0019.gif)
![[화학공학실험] 유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험-20](http://images.happyhaksul.com/thumb/375/374104-0020.gif)
분야
ppt2.THEORY
3.APPARATUS
4.CHEMICALS
5.PROCEDURE
6.CAUTIONS
7.REFERENCES
MICRO-CHANNEL 제작 실험을 실행함으로써
반도체, 디스플레이 및 MEMS (Micro Electronic
Mechanical System) Micro Scale Patterning
공정 기술의 (Photo Lithography, Spin Coating,
Plasma Treatment 등) 원리를 이해한다.
2. THEORY
1) MEMS (Micro Electronic Mechanical System)
정의
- 기계와 전기 등 다방면의 기술이 관련된 Micro Feature Size를
갖는 시스템을 다루는 학문.
- 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미.
- 각종 Sensor, 뇌나 신경에 해당하는 논리 회로, 팔과 다리에
대응하는 Micro Mechanism , 그것을 움직이게 하는
Micro Actuator를 하나로 하는 시스템을 일컬음.
MEMS 기술의 개요
- 전자(반도체)기술, 기계 기술,
광기술 등을 융합하여 Micro단위의
작은 부품 및 시스템을 설계, 제작,
응용하는 기술을 일컫는다.
- Size Domain 상으로는, Micro 영역에 해당된다.
MEMS 기술의 장점
- 반도체 공정을 모태로 하므로, WAFER 상에 일괄 제조할 수 있다.
- 한 개의 칩에 여러 개의 기능소자 및 신호처리부 등을
집적화 할 수 있다.
- 동시에 다량 제조할 수 있다.
MEMS 기술의 응용
- 바이오, 정보 통신, 운송 및 항공, 우주, 광학
등과 같이 미래형 산업 분야의 대부분을
망라하며, 특히 이에 적용되는 구조, 부품,
시스템을 핵심 기술로 인정.
광학용 : optical mirror, switch, waveguide
센서 : 속도계, 압력 센서, 중력계
모터 : 초소형 모터, 기어
생체학 : DNA 칩, 마이크로 펌프, 체내 수술 로봇
RF : 저잡음 장비, 도파관, 필터, inductor, switch
브레인 코리아 출판/ P. 208-214
TAI-RAN HSU/ 2008/ MEMS AND MICROSYSTEMS;
Design, Manufacture, and Nanoscale Engineering 2nd Ed./
JOHN WILEY & SONS, INC./ P. 359-360
Wanjun Wang, Steven A, Soper/ 2007/ Bio-MEMS;
Technologies and Applications/ CRC Press/ P. 12-40
http://blog.naver.com/gpsptm05?Redirect=Log&logNo=110005720516
http://www.memsnet.org/mems/what-is.html
http://www.biochip.or.kr/website/index.php
http://popsci.hankooki.com/main.php
http://www.ece.gatech.edu/research/labs/vc/theory/photolith.html
