[공학]박막 재료의 물성 측정(영문)

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소개글
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목차
1.INTRODUCTION
2.Basis of the thermodynamical model
3.Energy of metal-substrate oxide-film interfaces
4.Thermodynamics of amorphous and crystalline aluminum-oxidefilms on aluminum substrate
5.Stability & Application
6.Conclusion
본문내용
BulkGibbs free energy of formation of the amorphous oxide islarger than that of the corresponding crystalline oxide.

Thin filmThe thin amorphous metal-oxide film on its metal substrate can be stable modification with respect to the corresponding crystalline metal-oxide film the same substrate.


1. Interaction contribution to the - interfacial energy

Following the treatment given in Sec. III A1 for the interaction energy across the crystalline-amorphous- interface

1. the difference in ⅰ)bulk ⅱ)surface ⅲ)interfacial
energy of {Al2O3}-/-

2. The stability of the oxide films as a function of growth temperature, oxide film thickness, crystallographic orientation of