[열전달 실험] IR Camera 실험

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레포트 > 공학계열
2011.03.15
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소개글

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목 차
1. 실험목적

2. 주의사항

3. Noise 줄이는 방법

4. IR 카메라의 온도 보정방법

5. IR camera로 촬영한 사진 분석( 온도분포, 시간에 따른 변화등)

본문내용

리니어 어레이 센서 (Linear Array Sensor)
LiTaO3 단결정이나 PbTiO3 세라믹 판을 이용한 리니어 어레이 센서가 제작되어 있다. 두께 30㎛의 PbTiO3 세라믹 판을 100㎛의 피치에서 다이싱에 의해 분해하고 봉상으로 한 element를 나란히 배치한 32 또는 64화소의 리니어 어레이가 제작되었다. 비검출능은 32화소의 것에서 10Hz에서 약 5×107cmHz1/2/W로써 포인트 센서에 비해 1/2~1 order 작다. 또한, cross torque는 32화소의 것에서 10Hz에서 0.1정도이었다. 게다가 Pb(Sn0.5Sb0.5)O3에서 변성한 PZT 세라믹 판(두께 0.15mm)의 한 쪽에 1.4mm폭으로 홈을 넣은 범용구조의 리니어 어레이 센서가 만들어졌다. cross torque는 10Hz에서 2%로 하는 것이 가능하다. 또한, LiTaO3 단결정 판에15mil 사이 폭으로 전극을 32개로 나열한 리니어 어레이 센서가 만들어졌다. 트랙 등의 움직이는 대상물의 렌즈에서 결상된 적외상 리니어 어레이 위를 주사함으로써 적외 이미징이 가능하다. 20~30㎛ 두께의 초전체 세라믹스 판에 홈을 넣어 섬 형태로 배열하여 흡수열의 인접화소로의 전도에 의한 분해능 저하를 막을 수 있도록 한 리니어 어레이 센서가 만들어지고 있다. 검지 element에 적외광이 조사되어 보상용 element에 연결하고, 출력은 온도 드리프트나 진동에 의한 노이즈가 소거된다. 200㎛각, 250㎛ 피치의 PZT의 element가 가능하다.
16개의 어레이를 전극 위에 PbTiO3 박막을 스퍼터링으로 성장시킴으로써 어레이 센서가 제작되었다. 그림 6은 Si 기판을 이방성 에칭에 의해 제작한 캔틸레버 구조

#IR #열전달 #실험 #Camera

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