![[반도체공학] 실리콘 Wafer의 구조 및 제조 공정-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/511/510275-0001.gif)
![[반도체공학] 실리콘 Wafer의 구조 및 제조 공정-2](http://images.happyhaksul.com/thumb/511/510275-0002.gif)
![[반도체공학] 실리콘 Wafer의 구조 및 제조 공정-3](http://images.happyhaksul.com/thumb/511/510275-0003.gif)
![[반도체공학] 실리콘 Wafer의 구조 및 제조 공정-4](http://images.happyhaksul.com/thumb/511/510275-0004.gif)
![[반도체공학] 실리콘 Wafer의 구조 및 제조 공정-5](http://images.happyhaksul.com/thumb/511/510275-0005.gif)
![[반도체공학] 실리콘 Wafer의 구조 및 제조 공정-6](http://images.happyhaksul.com/thumb/511/510275-0006.gif)
![[반도체공학] 실리콘 Wafer의 구조 및 제조 공정-7](http://images.happyhaksul.com/thumb/511/510275-0007.gif)
![[반도체공학] 실리콘 Wafer의 구조 및 제조 공정-8](http://images.happyhaksul.com/thumb/511/510275-0008.gif)
![[반도체공학] 실리콘 Wafer의 구조 및 제조 공정-9](http://images.happyhaksul.com/thumb/511/510275-0009.gif)
![[반도체공학] 실리콘 Wafer의 구조 및 제조 공정-10](http://images.happyhaksul.com/thumb/511/510275-0010.gif)
![[반도체공학] 실리콘 Wafer의 구조 및 제조 공정-11](http://images.happyhaksul.com/thumb/511/510275-0011.gif)
![[반도체공학] 실리콘 Wafer의 구조 및 제조 공정-12](http://images.happyhaksul.com/thumb/511/510275-0012.gif)
![[반도체공학] 실리콘 Wafer의 구조 및 제조 공정-13](http://images.happyhaksul.com/thumb/511/510275-0013.gif)
![[반도체공학] 실리콘 Wafer의 구조 및 제조 공정-14](http://images.happyhaksul.com/thumb/511/510275-0014.gif)
![[반도체공학] 실리콘 Wafer의 구조 및 제조 공정-15](http://images.happyhaksul.com/thumb/511/510275-0015.gif)
분야
pptx2.Silicon wafer의 종류
3.제조 공정
4.wafer의 전망
5.Reference
웨이퍼 위에 기상성장법으로 실리콘단 결정막 증착
다양한 구조로 제작이 가능
epi 구조는 Bipolar IC의 Isolation 및 낮은 collector 저항 성능을 개선
미소결함의 발생을 억제
SOI(Silicon on insulator)
SOI wafer는 표면과 기층부 사이에 절연층을 인위적으로 형성시켜 절연체위에 형성된 고순도 silicon layer의 가공, 효율 및 특성을 대폭 향상시킨wafer
절연체로 차단된 얇은 무결점 실리콘 층을 제공하기 때문에 절연벽이나 웰(Well)형성 공정 등을 줄일 수 있어 제품개발 및 생산기간, 비용을 줄일 수있어 효율적
LG실트론(www.siltron.co.kr)
반도체 공정기술(생능출판사)
알기 쉬운 반도체 공정(대영출판사)
http://blog.naver.com/poweryous?Redirect=Log&logNo =20021082343
http://blog.naver.com/icbanklove/19971955
http://blog.naver.com/jjsr1979?Redirect=Log&logNo =30000376771
