SEM, TEM 기기분석

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소개글
SEM, TEM 기기분석에 대한 자료입니다.
목차
1.SEM (scanning electron microscope)
2.TEM (transmission electron microscope)
3.Summery
본문내용
SEM?

Scanning electron microscope
To analysis surface of specimen
Qualitative analysis at certain point

Operation principal of SEM

Emission electron from filament
Accelerate electron by electric field
Focusing electron by lens → mono-chromatic electron beam
Generate secondary electron and etc.
Detection of electron

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