![포토리소[photolithography] - 가공방법 및 적용분야에 대해서-1](http://images.happyhaksul.com/thumb/651/650699-0001.gif)
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![포토리소[photolithography] - 가공방법 및 적용분야에 대해서-12](http://images.happyhaksul.com/thumb/651/650699-0012.gif)
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![포토리소[photolithography] - 가공방법 및 적용분야에 대해서-14](http://images.happyhaksul.com/thumb/651/650699-0014.gif)
![포토리소[photolithography] - 가공방법 및 적용분야에 대해서-15](http://images.happyhaksul.com/thumb/651/650699-0015.gif)
![포토리소[photolithography] - 가공방법 및 적용분야에 대해서-16](http://images.happyhaksul.com/thumb/651/650699-0016.gif)
![포토리소[photolithography] - 가공방법 및 적용분야에 대해서-17](http://images.happyhaksul.com/thumb/651/650699-0017.gif)
분야
pptx1.1 포토리소그래피(Photolithography)란?
원하는 회로설계를 유리판 위에 금속패턴으로 만들어 놓은
마스크(mask)라는 원판에 빛을 쬐어 생기는 그림자를
웨이퍼 상에 전사시켜 복사하는 기술
3page Fig.2 물리학과 첨단기술 January/Fabruary 2011특집 page 3
4page Fig.3 (c)2008,Arunn Narasimhan
6page Fig.4 EUVL SYmposium j. Yeo(2009)
8page FIg.5 Hankook Industry CO., LTD
10page Fig.6 Harry J. Levinson, Principles of Lithography, 2nd ed. (2004)
11page Fig.7 EUV Symposium, Rand de Leeuw (2010).
12page 자료: KSIA, 키움증권 리서치센터
14page 자료: Fuji Keizai, 반도체 재료 시장의 전모.
15page 자료: Fuji Keizai, 반도체 재료 시장의 전모.
