분야
pptx2. 실험 목적
3. 실험 원리
4. 기구 및 시약
5. 실험 방법
장점
여러 유기재료가 혼합된 복합막과
무기물과 유기물의 복합막 등의 제작이 가능.
막의 조성을 바꾸기가 용이.
단점
유기물인 경우 내열성이 낮은 재료는 사용할 수 없음.
성막 속도가 늦음.
초박막을 제작하기 어려움.
Spin Coating의 4단계 공정
① Deposition
준비된 기판 위에 코팅할 용액을 떨어뜨리는 공정
② Spin-up
원심력을 이용하여 용액을 기판에 고르게 분포시키는 공정
③ Spin-off
박막이 얇아질수록 흐름용매의 제거 속도는 감소
④ Evaporation
용매를 제거하여 원하는 성분을 기판에 형성,
균일한 표면을 형성, 박막의 두께를 더욱 얇게 하는 과정
