for staggered TFT, because of the high resistance of a-Si:H.
Due to the resistance, the TFT where source & drain overlap with gate shows good electrical characteristics.
1. 증착 순서: 비정질 실리콘 위에 질화막을 연속으로 증착한 후 질화막을 패턴닝한다. 패턴닝된 질화막의 위에 n+층을 증착하고 그 위에 소오스-드레인 전극을 형성한다.
공정 및 단가를 줄이고 sheets의 특성을 분석하여 angular luminance를 최적화 할 수 있는 등의 효과를 얻을 수 있을 것이다.
Roll printing 공법
기존 Photolithography공정은 복잡한 과정, 여러 화학약품의 사용, 고가의 초대형 장비 등이 필요하다. 하지만 Roll Printing공정을 이용하면 각 Photolithography공정의 감광물질
따라 물질의 광학적 성질이 다른 것)
[ A-Si TFT 의 동작방식과 구조, 공정 ] 일부 발췌 요약
o 비정질 실리콘(amorphous Si)
- 이웃하는 4개의 다른 Si와 고유결합
- 수소원자를 연결하여 비정질 실리콘 (a-Si:H)생성
- a-Si:H : 직접반도체
- 증착용이
- 저온증착가능
- TFT공정의 유연성
(중략)
액정에 비해 온도내성이 강하다. 영하40oC까지 전혀 문제 없이 동작한다. 고온에서도 100oC까지 충분히 사용할 수 있다.
따라서 온도변화가 심한 차량에서도 사용이 가능하다.
유일한 완전 고체표시 소자
진동에 매우 강하여, 현재 미 육군에서는 야전용 표시소자로서 채택하고 있다.
빠른
때문에 액정에 비해 온도내성이 강하다. 영하40oC까지 전혀 문제 없이 동작한다. 고온에서도 100oC까지 충분히 사용할 수 있다. 따라서 온도변화가 심한 차량에서도 사용이 가능하다.
ⅴ) 유일한 완전 고체표시 소자
진동에 매우 강하여, 현재 미 육군에서는 야전용 표시소자로서 채택하고 있다.