높은 에너지의 전자빔을 이용.
전자가 시편과 충돌할 때 발생하는 이차전자, 반사전자, X-선 등을 검출하여 확대상을 촬영하는 장치.
종 류
1. SEM(주사전자현미경)
2. TEM(투과전자현미경)
진공 중에 놓여진 시료표면에 미세한 전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 이
현미경은 기본적으로 bright-field system의 연장선상에 있는 것이다. 다만 두 가지 주요한 광학적 변화가 bright-field microscope를 위상차 현미경으로 전환시킨다. 그 첫째로, 위상차현미경의 콘덴서에는 고리 모양의 광학적 투명영역(translu -cent area)과 불투명판(opaqus plate)으로 구성된 phase annulus가 있다. phase annul
광학현미경(optical microscope), 주사전자현미경(scanning electron microscope), 투과전자현미경(transmission electron microscope) 등을 사용한다. 금속 시편의 경우 결정립, 입계, 기공, 이차상 등이 수십에서 수백 ㎛으로 비교적 크므로 반사현미경으로 관찰이 가능하다.
(1) 광학현미경
- 원리 : 가장 일반적으로 사용
현미경의 내부는 진공상태 - 전자는 공기와 충돌하면 에너지가 소실되거나 굴절되는 등 원하는 대로 제어하기 어렵기 때문
배율 - 표본과 대물렌즈와 렌즈 사이의 거리는 일정, 중간렌즈와 투영렌즈의 코일에 통하는 전류의 세기에 의해 배율이 결정되며
초점 - 대물렌즈의 코일에 흐르는 전류에 의