특정 상을 구분하기 위한 시편 준비가 힘듦
광학현미경, 전자현미경
여전히 시각적 영상과 경험에 의존
주관적 판단에 따른 오류가능성
그렇다면
종래의 방식들을 보완하기 위해서는??
정량적 분석AFM(Atomic Force Microscope)
EFM(Electrostatic Force Microscope)
SPM(Scanning Probe Microscope)
특징은 초점이 높은 심도를 이용해서 비교적 큰 표본을 입체적으로 관찰 할 수 있다는 것이다.
두 가지 전자현미경의 차이를 보면, TEM은 얇은 시편을 beam이 투과하여 관찰하므로 2차적인 또는 단면적인 구조를 나타내지만 SEM은 시료 위를 주사된 상을 관찰하므로 3차원적인 입체상을 관찰할 수 있다.
만들게 되었으며 이는 현미경개발로 이어지게 되었다. Leeuwenhoek의 단안렌즈현미경에서 시작하여 복합현미경을 거쳐 현재 많은 현미경이 개발되고 있는 실태이며 신소재공학뿐이나리 생명공학, 정밀공학 등 많은 과학적분야에서 쓰이고 있다.
그림2. SEM의 기본구조
그림3. SEM의 모습
2-2. SEM
1.Photolithography
리소그래피는 포토레지스트를 도포하는 공정으로 시작해 노광, 현상, 에칭, 포토레지스트 제거에 이르는 일련의 프로세스이다. 현상까지를 레지스트 처리공정으로 하며, 에칭 공정과 분리해서 생각할 수도 있다. 현재, 패턴 노광은 레티클이라 불리는 마스크 기판에 의해 축소 투영 전
1. 서론
1.1. 연구의 배경
1.1.1. 나노기술의 정의
나노기술(nanotechnology)은 대개 ‘나노미터 수준의 물질에 대한 이해와 제어를 가능하게 하는 과학기술’ 나노기술 정책 및 연구동향, 2004, 한국과학기술정보연구원
혹은 ‘물질을 나노크기의 수준에서 조작․분석하고 이를 제어할 수 있는 과학