이차이온수율의 변화
- 정확한 정량화 및 정성분석의 한계
- 복잡한 질량스펙트럼에 따른 질량간섭
- Depth profile
- Ion imaging
- Quantification(정량화)
- 표면 원소의 규명
- 원소농도 분포 분석
- 반도체재료의 불순물 농도 분포 분석
- 금속 재료의 불순물 비교조사
- 고분자 화합물의 조성 분석
장점
- Depth profile
- 모든 종류의 원소, 동위 원소 검출 가능
- ppb까지 분석
이온 영상 mapping, line scanning 가능
단점
분석시 많은 시간과 돈이 소요됨
시료 파괴
- 반도체 doping profiling
- 표면 원소의 규명
- 금속 재료의 불순물 비교조사
- 고분자 화합물의 조성
600V 2종 비닐 절연전선(HIV)의 과
이차전자는 검파기(detector)에 의해 수집되어 그 결과 생긴 신호들이 여러 점으로부터 모여들어 음극선관(cathod ray tube)에 상을 형성한다. 주사전자현미경의 특징은 초점이 높은 심도를 이용해서 비교적 큰 표본을 입체적으로 관찰 할 수 있다는 것이다.
두 가지 전자현미경의 차이를 보면, TEM은 얇은 시
1.개요
1) 원리
시료를 이온화 시킨 후 시료의 분자 이온이나 분자의 조각이온을 질량/전 하수(m/z비)에 따라 분리하여 독특한 패턴의 질량스펙트럼(mass spectrum)을 얻고 이 스펙트럼의 해석에 의해 물질의 정성(스펙트럼의 위 치) 및 정량(강도)분석을 행한다.
2) 특징
(1)유기 화합물의 경