장점도 있다.
그러나 기기의 가격이 비싸다는 단점이 있다.
X-ray Photoelectron Spectroscopy 의 응용분야로는 첨가제 분석, 화학 구조 규명은 물론 시료 표면 원소의 정성 및 정량, 결합 에너지 준위, 수직 분포 분석, 그리고 반도체에서 Gate oxide와 같이 두께가 얇은 oxide의 두께를 측정하는 데에 사용된다.
[1. 환경 방사선]
1)자연 방사선 : 우주선, 지각구성 방사성 물질 및 인체 구성 방사성 물질(K-40, Rb-87)등의 피폭
*ICRP 60 - 자연 방사선의 일반 대중의 연간 피폭 선량한도는 1mSv (= 100mrem)
2)인공 방사선☆ : 방사성 낙진, 원자력 관련시설, 의료 방사선 등
3)인류의 장연 방사능량 : 100mR/y
[2. 방사선의 작용
제 1장 기술혁신의 개요
Ⅰ. 기술혁신의 정의
1. 기술변화에 대한 경제학적 관점
1) 고전주의 경제에서의 기술혁신 파악(아담 스미스, 마르크스)
고전경제학자들 중에서도 기술혁신이 경제적 진보를 가져온다는 논의를 전개한 사람들이 많다. 아담 스미스는 분업은 작업자들의 전문화된 발명을 유도
Ⅰ. 산업기술과 제약산업
1. 제약산업에서의 기술 협력 추이
1) 기술의 도입추이
경제위기 이후의 제약산업에서 기술협력 추이를 매출액 규모별로 보면 Group Ⅱ에서의 기술라이센스 추이의 증가경향을 제외하고는 모든 분야에서 기술협력 경향성은 감소한 것으로 나타났다. 이는 환율의 상승 등
제목: 오존수와 고체산(sol-gel법)을 이용한 웨이퍼 세정
문제제기: .기존 RCA법의 요염물 다량 배출(H202, DI water 및 HCl)
기존 RCA법에서 고가 운영비(과산화수소 처리공정, 높은 온도유지)
.반도체가 점점 작아지면서 미세한 오염물 제거의 필요성
지표면 오존의 심각성(오존주의보)