공정을 거쳐서 단(短)섬유를 집합 연결시키지 않으며 실이 되지 않는다. 천연 섬유는 그 길이와 굵기가 다양하므로 만들고자 하는 실의 용도에 따라 적당한 것을 골라서 사용하며 인조 섬유 등과 같이 길이가 무한히 긴 것도 용도에 따라 짧게 잘라 방적하여 실을 만들기도 한다. 이러한 실은 단섬유를
처리공정으로 세정된다.
현재 반도체 공정에서 사용하는 습식 세정 공정은 1970년대 개발된 RCA 세정 방법을 근간으로 화학액의 조성에 큰 변화없이 사용되고 있다. RCA세정은 암모니아인 염기성을 주로 사용하는 SC1과 염산인 산성 용액을 사용하는 SC2 세정 방법으로 나눌 수 있다. RCA세정 공정 중 SC1 (
처리공정에서 撒水에 의한 염분 세척이나 후처리공정인 발효 부숙 공정에서 수분 조절제인 톱밥이나 왕겨 등을 상당량 혼합해 줌으로써 유기질 비료 염분 기준 1 % 이하까지 낮출 수 있다.
악취관리 대책으로는 투입 호퍼부터 이송 Line 전공정 시설을 밀폐화하고 건물 전체를 밀폐하여 악취 방지시
뛰어나다.
- 대용량 보일러에의 설치경험이 많고, 공정의 신뢰도가 높다.
2) 단점
- 처리한 가스의 온도강하가 많아 배기가스 재가열이 필요하다.
- 일부공정에서는 다량의 폐수를 배출한다
- 증발 및 폐수처리에 따른 용수 소모량이 많다.
- 필요한 보조기기가 많아 동력소비가 많다.
공정을 통해 SOx 기체를 제거하면 고 순도의 이산화탄소가 남는다. 이때 남은 기체에서 이산화탄소만을 포집하는데 사용하는 기술들을 통틀어 연소 후 기술이라 한다.
연소 후 기술에는 크게 아민계 용매를 이용한 습식 흡수법, 건식 흡수법, 물리 흡수법, 흡착법, 막분리 방법 등으로 나누어 볼 수 있