전자빔을 이용하여 박막을 형성하는 것이 E-Beam Evaporator이다. 그림5.는 E-beam장치의 구조도이다. 장치안의 필라멘트에 매우 높은 전압을 가하면 필라멘트에서 에너지를 가진 열전자들이 방출된다. 이 부분을 electron gun이라하고 여기에 의해 방출된 열전자들은 ingot 형태의 증착시키고자하는 재료(ingot feede
재료로는 W(텅스텐), Mo(몰리브덴), Ta(탄탈) 등이 쓰인다. 증발원에 전류를 흘려보내면 저항에 의해 가열이 되는데 이때 시료는 녹게 되고 결국 증발하게 되는 것이다. 증발원 재료는 고온에서 증발원의 재료와 박막재료가 반응이나 확산을 일으키지 않는 재료를 사용하게 된다. 또한 녹는점이 높아야 하
석유, 석탄, 천연가스 등의 화석에너지 자원들은 고갈되고 있고, 시대가 지나면서 에너지 문제의 중요성은 더욱 증가되어 에너지 안보 문제가 심각하다. 우리나라는 2009년도 기준 에너지 해외 의존도가 약 96.2%로 세계 에너지 시장의 변화에 취약한 구조를 가지고 있다. 특히 중동 지역의 의존도가 2008년
5) X-선관의 주요 성능지표
① 관전압 인가 최대 전압 뼈 등과 같이 밀도가 높은 부분 두꺼운 부분을 촬영할 때는 높은 관전압이 필요 : ,
② 관전류 인가최대전류며 단위 관전류가 크면 필라멘트에서 더 많은 전자가 방출되고 따라서 저지극에 충돌하는 : mA ,
전자의 수도 증가하여 방출되는 선량이
전자빔을 이용하여 박막을 형성하는 것이 E-Beam Evaporator이다. 그림5.는 E-beam장치의 구조도이다. 장치안의 필라멘트에 매우 높은 전압을 가하면 필라멘트에서 에너지를 가진 열전자들이 방출된다. 이 부분을 electron gun이라하고 여기에 의해 방출된 열전자들은 ingot 형태의 증착시키고자하는 재료(ingot feede