높은 에너지의 전자빔을 이용.
전자가 시편과 충돌할 때 발생하는 이차전자, 반사전자, X-선 등을 검출하여 확대상을 촬영하는 장치.
종 류
1. SEM(주사전자현미경)
2. TEM(투과전자현미경)
진공 중에 놓여진 시료표면에 미세한 전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 이
1. 주사전자현미경(SEM)이란?
전자현미경은 빛의 속도로 이동하는 전자의 파동성을 이용한 전자가속기로서 전자빔과 전자기렌즈를 이용하여 촛점을 형성한다. 가속전압은 대개 60-100 keV이고 illumination source로서는 텅스텐으로 만든 필라멘트를 사용하는데, 이를 전자총 (electron gun)이라고 부른다. 전자총
Topography 물체의 표면의 형상을 관찰
Morphology 물체를 구성하는 입자들의 형상과 크기 관찰
Composition 물체를 구성하는 원소와 화합물의 종류 및 상대적인 양을 분석
Crystallography 재료 내 원자들의 배열상태 분석
전자빔을 이용하여 전자가 시편과 충돌할 때 발생하는 이차전자, 반사전자, X-선 등을 검
전자의 파장은 가속전압에 따라 다르며 흔히 사용되는 전압(100 KV)에서의 전자파장은 0.004nm 로 전자현미경의 이론적 분해능(해상력)은 약 0.001nm이나 생물학적 표본에서 사용되는 분해능은 약 0.14 ~ 0.20nm이다. (참고로 1nm는 10억 분의 1m이다) 주사전자현미경은 주로 시료의 표면을 관찰하는데 쓰인다.
원
Ⅰ. 현미경과 위상차현미경
빛 파장의 회절과 간섭의 지식을 응용해서 위상의 차이들을 진폭의 차이들로 전환. 균일한 광원으로부터 표본에 의해 회절된 빛이 물리적으로 분리된다. 회절되지 않은 빛의 상은 그것의 광경로의 기계적 조절로 변동된다. 작은 양의 회절되지 않은 빛은 일반적으로 흡수