1. 실험목적
MOS 소자를 만드는 과정을 이해한다. Metal 종류, oxide 종류, 증착방법에 따른 MOS의 특성을 파악한다. 본 실험에서는 Oxide의 두께에 따른 C-V, I-V 특성을 평가한다.
2. 이론 배경 지식
2.1. MOS의 이해
2.1.1. MOSCapacitor의 구조
그림 1. MOScapacitor의 구조
MOScapacitor는 metal, oxide, semiconductor
신뢰성은 크게 떨어지게 된다.두 번째 이유는 광선을 이용해서 나노 크기의 회로를 만들려면 현재보다 훨씬 짧은 파장의 빛을 사용할 수밖에 없는데 기술적으로 가능은 하나 막대한 비용이 든다는 사실이다. 이러한 한계점 때문에 기존의 포토리소그래피에서 발전시킨 방법을 개발하고 있는데 여러
MOS를 이용한 capacitor 즉 MOScapacitor는 유전체로써 oxide를 사용하였기 때문에 붙여진 이름이며 이번 실험에서 제작할 소자이다. 전기신호의 증폭과 스위칭을 가능하게 한 Transistor의 기능에 가장 근본적인 원리를 설명하여 줄 수 있는 것이 MOScapacitor 이다.
3. 실험이론
그림 3.1.2 Capacitor
그림 3.1.1 MOS
한국의 산업과 기업에서 인지도 측면에서 디스플레이산업이라 하면 LG, 자동차산업이라 하면 현대와 마찬가지로 많은 반도체산업 관련 기업들 중 대표적 유명세를 타고 인지도가 높은 반도체 회사 삼성반도체, SK하이닉스가 존재한다. 그중 우리는 1위 기업인 삼성이 아니라 세계적인 위치에 있지만 많